cooling water system (287) Produttore online
Struttura: singola camera, tipo orizzontale, parte anteriore e porta posteriore della fornace
Dimensione: 500*500*1800
struttura: singola camera, tipo horizental
Elemento riscaldante: Grafite
Elemento riscaldante: Grafite, Molibdeno
Sistema del controllo della temperatura: Controllo automatico di PID
struttura: singola camera, tipo horizental
Dimensione: Su misura
struttura: singola camera, tipo horizental
Dimensione: 500*500*1800
Temperatura ricoprente: 200-1050℃
Sistema di raffreddamento: 2 insiemi delle trappole condensate raffreddate ad acqua ad alto rendimento
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Precursori e gas di processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Max.Temperatura di lavoro: 2500℃
Uniformità della temperatura: ≤±5℃
Spazio effettivo ((mm): 1000*1000*1500
Potenza di riscaldamento ((KVA): 300
Max.Temperatura di lavoro: 1800℃
Uniformità della temperatura: ≤±5℃
Temperatura massima di lavoro (℃): 2100
Uniformità di temperatura ((°C): ≤±5
Max.Temperatura di lavoro: 1800 ℃
Uniformità della temperatura: ≤ ± 5 ℃
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