Luogo di origine:
Cina
Marca:
Ruideer
Certificazione:
CE
Numero di modello:
630.530.430
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Forno di rivestimento per deposizione chimica dei vapori con precursori di TiCL4, AICL3 e gas di processo
CVD Coating Machine è una tecnica di rivestimento a vuoto all'avanguardia, che utilizza apparecchiature di deposizione chimica per depositare uno strato sottile di materiale sulla superficie di un substrato.Questo tipo di apparecchi per il rivestimento delle superfici offre una vasta gamma di velocità di rivestimento, da 0,1 a 2,0 m/min. Fornisce inoltre una pressione di rivestimento precisa ed uniforme, con una stabilità di pressione di -± 2mbar.che garantisce una temperatura del substrato stabile per risultati ottimali di rivestimento. L'intero processo è controllato da un sistema PLC, che garantisce uno spessore di rivestimento preciso e l'uniformità.
Le differenze tra i processi di ALD e CVD:
ALDè una tecnica di deposizione chimica a vapore basata su una reazione superficiale autolimitante
Film di deposito uno strato atomico alla volta
Richiede temperature più basse
Utile nella produzione di semiconduttori e circuiti integrati, celle solari a film sottile e nella produzione di rivestimenti ad alte prestazioni per componenti ottici.
CVDè una tecnologia di lavorazione dei materiali ampiamente utilizzata in cui si formano pellicole sottili su un substrato riscaldato attraverso una reazione chimica di precursori in fase gassosa.
Film di deposizione con una gamma di spessori più ampia
Richiede temperature più elevate
Utilizzato in campi come l'ottica, la microelettronica e la scienza dei materiali, dove aiuta nella fabbricazione di pellicole sottili e rivestimenti per dispositivi elettronici, deposizione di rivestimenti su lenti e specchi,e la sintesi di vari materiali.
| Modello di attrezzatura | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
| Spazio effettivo (mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
| Potenza di riscaldamento ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Quantità di zona di riscaldamento | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Impressione dell'attrezzatura (mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Temperatura di processo(°C) | 700-1050 | |||||
| Precursori e gas di processo | TiCL4,AICL3CH3CN,H2, N2Ar, CH, CO, CO2HCI, H2S | |||||
| Tipi di rivestimento | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
| Attrezzature opzionali |
1. neutralizzatore di gas spento (compreso il dispositivo di evacuazione); 2. distributore di gas di secondo stadio (compreso il gasdotto); 3. stazione di servizio (compresa la condotta) |
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• Norme di progettazione
L'apparecchiatura è progettata in conformità ai requisiti per i recipienti a pressione dell'Ufficio di controllo tecnico e di qualità ed è qualificata dopo le prove a pressione e spedita.La progettazione e la costruzione elettrica sono conformi alle norme nazionali.
• Pre-prova di installazione e pre-accettazione
L'attrezzatura è completamente assemblata nella nostra fabbrica, comprese tutte le condotte, le condotte a vuoto, le condotte di gas di processo, le condotte di acqua di raffreddamento, le condotte di aria compressa, ecc.Le prove preliminari possono essere effettuate dopo l'installazione- sul sito del cliente, le condotte diverse dalle attrezzature sono fornite dal cliente.il cavo principale che collega l'armadio di alimentazione è fornito dal clienteDopo l'installazione, eseguiamo test di perdita di vuoto e pressione positiva su tutta l'attrezzatura, nonché test di funzionalità meccanica ed elettrica.
• smontaggio e trasporto
L'apparecchiatura verrà smontata in diverse parti grandi, imballata in modo standardizzato e caricata nel veicolo di trasporto.
• Installazione e messa in servizio del sito del cliente
L'ingegnere post-vendita di Redel guiderà il team per completare la messa in servizio, la prova del prodotto e altri lavori entro 20 giorni lavorativi.Il cliente deve prepararsi adeguatamente e fornire gli strumenti necessari, quali apparecchiature di sollevamento e sollevamento. e fornire supporto al personale di installazione (si raccomanda di avere 1 personale meccanico e 1 personale elettrico).
• Accettazione finale
Dopo l'installazione e la messa in servizio, l'apparecchiatura può essere finalmente accettata conformemente alle prescrizioni del contratto tecnico.
• Formazione
I nostri ingegneri post-vendita forniscono una formazione sistematica e completa in loco, compresa l'operazione, la manutenzione, la risoluzione dei problemi, ecc.
• Trasmissione dei dati tecnici
Per garantire un funzionamento e una manutenzione sicuri dell'apparecchiatura, i seguenti dati tecnici saranno forniti ai clienti:
1. Disposizione dell'impianto
2. Manuale utente
3. elenco di ricambi
4Disegni elettrici
5. Manuale del componente
Domande frequenti
D: Lei è una fabbrica o una società commerciale?
R: Siamo il produttore cinese leader di forni a vuoto ad alta temperatura con oltre 10 anni di esperienza.
D: Avete un servizio di personalizzazione o OEM?
R: Sì, abbiamo un potente team di ricerca e sviluppo e attrezzature ad alta tecnologia. Quindi non possiamo fornire solo il modello normale, ma anche il forno personalizzabile come ripuirment dei nostri clienti.
D: Qual è il tuo vantaggio?
A:
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L Controllo di qualità elevato
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