Luogo di origine:
Cina
Marca:
Ruideer
Certificazione:
CE
Numero di modello:
Personalizzabile
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Questa apparecchiatura è utilizzata per il rivestimento con carburo di silicio di materiali a base di carbonio/ceramica,in particolare deposizione di carburo di silicio sulla superficie del sensibile epitaxiale del semiconduttore e dell'anello di incisione.
Il tasso di rivestimento è un indicatore molto importante per i clienti a valle, che è direttamente correlato alla capacità produttiva delle apparecchiature.La nostra attrezzatura può raggiungere una velocità di deposizione di 50 micron all' ora, e può anche essere dotato di raffreddamento rapido, che riduce notevolmente i tempi di produzione.
Caratteristiche tecniche
1. Utilizzando più zone di controllo della temperatura, grande uniformità della temperatura;
2. camera di deposizione appositamente progettata con buon effetto di sigillamento e elevate prestazioni anti-contaminazione;
3. utilizzando canali di deposizione multipli con flusso di gas uniforme, senza angolo morto di deposizione e superficie di deposizione perfetta;
4. ha il trattamento per il catrame, polvere solida e gas organici durante il processo di deposizione
• Norme di progettazione
L'apparecchiatura è progettata in conformità ai requisiti per i recipienti a pressione dell'Ufficio di controllo tecnico e di qualità ed è qualificata dopo le prove a pressione e spedita.La progettazione e la costruzione elettrica sono conformi alle norme nazionali.
• Pre-prova di installazione e pre-accettazione
L'attrezzatura è completamente assemblata nella nostra fabbrica, comprese tutte le condotte, le condotte a vuoto, le condotte di gas di processo, le condotte di acqua di raffreddamento, le condotte di aria compressa, ecc.Le prove preliminari possono essere effettuate dopo l'installazione- sul sito del cliente, le condotte diverse dalle attrezzature sono fornite dal cliente.il cavo principale che collega l'armadio di alimentazione è fornito dal clienteDopo l'installazione, eseguiamo test di perdita di vuoto e pressione positiva su tutta l'attrezzatura, nonché test di funzionalità meccanica ed elettrica.
• smontaggio e trasporto
L'apparecchiatura verrà smontata in diverse parti grandi, imballata in modo standardizzato e caricata nel veicolo di trasporto.
• Installazione e messa in servizio del sito del cliente
L'ingegnere post-vendita di Redel guiderà il team per completare la messa in servizio, la prova del prodotto e altri lavori entro 20 giorni lavorativi.Il cliente deve prepararsi adeguatamente e fornire gli strumenti necessari, quali apparecchiature di sollevamento e sollevamento. e fornire supporto al personale di installazione (si raccomanda di avere 1 personale meccanico e 1 personale elettrico).
• Accettazione finale
Dopo l'installazione e la messa in servizio, l'apparecchiatura può essere finalmente accettata conformemente alle prescrizioni del contratto tecnico.
• Formazione
I nostri ingegneri post-vendita forniscono una formazione sistematica e completa in loco, compresa l'operazione, la manutenzione, la risoluzione dei problemi, ecc.
• Trasmissione dei dati tecnici
Per garantire un funzionamento e una manutenzione sicuri dell'apparecchiatura, i seguenti dati tecnici saranno forniti ai clienti:
1. Disposizione dell'impianto
2. Manuale utente
3. elenco di ricambi
4Disegni elettrici
5. Manuale del componente
Domande frequenti
D: Lei è una fabbrica o una società commerciale?
R: Siamo il produttore cinese leader di forni a vuoto ad alta temperatura con oltre 10 anni di esperienza.
D: Avete un servizio di personalizzazione o OEM?
R: Sì, abbiamo un potente team di ricerca e sviluppo e attrezzature ad alta tecnologia. Quindi non possiamo fornire solo il modello normale, ma anche il forno personalizzabile come ripuirment dei nostri clienti.
D: Qual è il tuo vantaggio?
A:
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