Forno per la crescita dell'epitaxia HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC)

Questa apparecchiatura è utilizzata per il rivestimento con carburo di silicio di materiali a base di carbonio/ceramica,in particolare deposizione di carburo di silicio sulla superficie del sensibile epitaxiale del semiconduttore e dell'anello di incisione.

Base epiteliale, un disco di grafite di alta purezza, con una scanalatura circolare per fissare il substrato del wafer.Dopo averli collocati nella fornace, un strato di film cristallino crescerà sulla superficie del substrato, che è lo strato epitaxiale.I processi di wafer come la litografia e l'impianto ionico sono tutti eseguiti sullo strato epitaxiale.

La base epitaxiale di grafite non può ovviamente soddisfare i requisiti di pulizia ultra elevati nel processo dei semiconduttori.Per questo motivo, dobbiamo usare deposizione chimica di vapore sulla base per avvolgere uno strato di denso film di carburo di silicio.

Configurazione opzionale

1. Porta del forno: tipo di elevazione a vite/idraulica/manuale; apertura a dondolo/apertura parallela ((porta del forno di grandi dimensioni); serratura manuale/serratura automatica
2. recipiente di forno: tutto acciaio al carbonio/strato interno in acciaio inossidabile/tutto acciaio inossidabile
3Zona calda del forno: feltro morbido di carbonio/feltro morbido di grafite/feltro composito rigido/CFC
4Elemento di riscaldamento e muffle: grafite di stampa isostatica/grafite di alta purezza, resistenza e densità/grafite di dimensioni fini
5. sistema di gas di processo: misuratore di portata volume/massa;
6. Termocoppia: tipo K/tipo N/tipo C/tipo S

• Norme di progettazione

L'apparecchiatura è progettata in conformità ai requisiti per i recipienti a pressione dell'Ufficio di controllo tecnico e di qualità ed è qualificata dopo le prove a pressione e spedita.La progettazione e la costruzione elettrica sono conformi alle norme nazionali.

• Pre-prova di installazione e pre-accettazione

L'attrezzatura è completamente assemblata nella nostra fabbrica, comprese tutte le condotte, le condotte a vuoto, le condotte di gas di processo, le condotte di acqua di raffreddamento, le condotte di aria compressa, ecc.Le prove preliminari possono essere effettuate dopo l'installazione- sul sito del cliente, le condotte diverse dalle attrezzature sono fornite dal cliente.il cavo principale che collega l'armadio di alimentazione è fornito dal clienteDopo l'installazione, eseguiamo test di perdita di vuoto e pressione positiva su tutta l'attrezzatura, nonché test di funzionalità meccanica ed elettrica.

• smontaggio e trasporto

L'apparecchiatura verrà smontata in diverse parti grandi, imballata in modo standardizzato e caricata nel veicolo di trasporto.

• Installazione e messa in servizio del sito del cliente

L'ingegnere post-vendita di Redel guiderà il team per completare la messa in servizio, la prova del prodotto e altri lavori entro 20 giorni lavorativi.Il cliente deve prepararsi adeguatamente e fornire gli strumenti necessari, quali apparecchiature di sollevamento e sollevamento. e fornire supporto al personale di installazione (si raccomanda di avere 1 personale meccanico e 1 personale elettrico).

• Accettazione finale
Dopo l'installazione e la messa in servizio, l'apparecchiatura può essere finalmente accettata conformemente alle prescrizioni del contratto tecnico.

• Formazione
I nostri ingegneri post-vendita forniscono una formazione sistematica e completa in loco, compresa l'operazione, la manutenzione, la risoluzione dei problemi, ecc.

• Trasmissione dei dati tecnici

Per garantire un funzionamento e una manutenzione sicuri dell'apparecchiatura, i seguenti dati tecnici saranno forniti ai clienti:

1. Disposizione dell'impianto
2. Manuale utente
3. elenco di ricambi
4Disegni elettrici
5. Manuale del componente

Domande frequenti

Lei è una fabbrica o una società commerciale?

D: Lei è una fabbrica o una società commerciale?
R: Siamo il produttore cinese leader di forni a vuoto ad alta temperatura con oltre 10 anni di esperienza.

Avete un servizio di personalizzazione o OEM?

D: Avete un servizio di personalizzazione o OEM?
R: Sì, abbiamo un potente team di ricerca e sviluppo e attrezzature ad alta tecnologia. Quindi non possiamo fornire solo il modello normale, ma anche il forno personalizzabile come ripuirment dei nostri clienti.

Qual e' il tuo vantaggio?

D: Qual è il tuo vantaggio?
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Risposta rapida alla sua richiesta.

L Controllo di qualità elevato

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L' eccellente servizio post-vendita