Forno per rivestimento CVD a carburo di silicio per sensibilità al grafite o per anello di incisione

Forno per rivestimento CVD a carburo di silicio per sensibilità al grafite o per anello di incisione

Questa apparecchiatura è utilizzata per la deposizione di carburo di silicio sulla superficie di materiali a base di carbonio/ceramica, in particolare per il sensibile dei semiconduttori e l'anello di incisione.

Un sensibile al grafite, un disco di grafite di alta purezza, con una scanalatura circolare per fissare il substrato del wafer. Dopo averli messi nel forno,un strato di film cristallino crescerà sulla superficie del substrato, che è lo strato epitaxiale.

I processi di wafer come la litografia e l'impianto ionico sono tutti eseguiti sullo strato epitaxiale.La base epitaxiale di grafite non può ovviamente soddisfare i requisiti di pulizia ultra elevati nel processo dei semiconduttori..

Per questo motivo, dobbiamo usare deposizione chimica di vapore sulla base per avvolgere uno strato di denso film di carburo di silicio.

• Norme di progettazione

L'apparecchiatura è progettata in conformità ai requisiti per i recipienti a pressione dell'Ufficio di controllo tecnico e di qualità ed è qualificata dopo le prove a pressione e spedita.La progettazione e la costruzione elettrica sono conformi alle norme nazionali.

• Pre-prova di installazione e pre-accettazione

L'attrezzatura è completamente assemblata nella nostra fabbrica, comprese tutte le condotte, le condotte a vuoto, le condotte di gas di processo, le condotte di acqua di raffreddamento, le condotte di aria compressa, ecc.Le prove preliminari possono essere effettuate dopo l'installazione- sul sito del cliente, le condotte diverse dalle attrezzature sono fornite dal cliente.il cavo principale che collega l'armadio di alimentazione è fornito dal clienteDopo l'installazione, effettuiamo prove di perdita di vuoto e pressione positiva su tutta l'attrezzatura, nonché prove di funzione meccanica ed elettrica.

• smontaggio e trasporto

L'apparecchiatura verrà smontata in numerose grandi parti, imballata in modo standardizzato e caricata nel veicolo di trasporto.

• Installazione e messa in servizio del sito del cliente

L'ingegnere post-vendita di Redel guiderà il team per completare la messa in servizio, la prova di prodotto e altri lavori entro 20 giorni lavorativi.Il cliente deve prepararsi adeguatamente e fornire gli strumenti necessari, quali apparecchiature di sollevamento e sollevamento. e fornire supporto del personale di installazione (si raccomanda di avere 1 personale meccanico e 1 personale elettrico).

• Accettazione finale

Dopo l'installazione e la messa in servizio, l'apparecchiatura può essere finalmente accettata conformemente alle prescrizioni del contratto tecnico.

• Formazione

I nostri ingegneri post-vendita forniscono una formazione sistematica e completa sul posto, compresa l'operazione, la manutenzione, la risoluzione dei problemi, ecc.

• Trasmissione dei dati tecnici

Per garantire un funzionamento e una manutenzione sicuri dell'apparecchiatura, i seguenti dati tecnici saranno forniti ai clienti:

1. Disposizione dell'impianto

2. Manuale utente

3. elenco di ricambi

4Disegni elettrici

5. Manuale del componente