Temperatura massima di lavoro (℃): 2100
Uniformità di temperatura ((°C): ≤±5
Temperatura massima di lavoro (℃): 2100
Uniformità di temperatura ((°C): ≤±5
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Precursori e gas di processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Tipi di rivestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Precursori e gas di processo: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Substrati per rivestimento: Metallo, ceramica, vetro, ecc.
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Precursori e gas di processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Precursori e gas di processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temperatura di processo (°C): 700-1050
Precursori e gas di processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Temperatura massima di lavoro (℃): 2100
Uniformità di temperatura ((°C): ≤±5
Max. Temperatura di lavoro: 1600 ℃
Max.Working Pressure: 1,2,6,10,20MPA
Gas Quenching: Available
Rated Loading Capacity: 50
Vita di servizio: 20 anni/6000 cicli di forno
Colore della vernice: Nero, Blu, Grigio, Bianco, ecc.
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