Macchina di rivestimento altamente automatica di CVD di RDE 530L con due camere di reazione

Fornace ricoprente altamente automatica di CVD di RDE 530L con due camere di reazione

1. forze dell'attrezzatura

1,1 modo automatico. Secondo le regolazioni trattate, le diversi componenti e processi sono controllati automaticamente. Il controllo automatico comprende il commutatore della valvola, controllo di flusso del gas di processo, controllo di flusso liquido di processo, controllo della pressione del reattore, fornace del riscaldamento e controllo della temperatura di riscaldamento elettrico della cinghia, ecc., senza intervento umano nell'intero processo. Il processo dell'operazione automatica realizza l'elaborazione di allarme automatica. Secondo i tipi differenti dell'allarme, entrerà automaticamente nel modo dell'allarme per proteggere i prodotti nella fornace. Dopo che l'allarme è rilasciato, può essere ristabilito manualmente allo stato prima dell'allarme.

1.2. Il processo è controllato in tutto il processo, tutti i dati del sensore e lo stato della valvola è conservato ai dati storici, che possono essere osservati in qualunque momento.

1.3. Modo di alimentazione manuale. C'è un interruttore di sicurezza, che realizza automaticamente la serratura secondo il tipo e la temperatura di gas dentro il reattore ed il reattore non può essere aperto a volontà. Il modo di alimentazione manuale è fissato con l'operazione del un-bottone, quali l'aspirazione, la purga_di H₂, la purga del N2, ecc., nessuna necessità di muovere manualmente le diversi valvole e pulsometri.

1.4. I dati dell'allarme sono conservati automaticamente ed i dati storici possono essere recuperati in qualunque momento.

2. Luogo di lavoro della fabbrica

2,1 umidità e temperatura ambientali

2.1.1 umidità ambientale: <90>

2.1.2 temperatura ambiente: 5℃~40℃

2,2 alimentazione elettrica

2.2.1 alimentazione elettrica: 380V±10%, 50Hz, sistema a cinque vie trifase

2.2.2 alimentazione elettrica di controllo: 210V~250V, 50Hz, monofase

2,3 fonte di aria

2.3.1 pressione dell'aria compressa: 6-7bar,

2.3.2 pressione dell'AR: 2-3bar,

2.3.3 pressione e flusso di H₂: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 pressione e flusso del N2: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 pressione e flusso di CO: 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 pressione e flusso di CO2: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 pressione CH4 e flusso: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 pressione e flusso dell'HCl: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9pressioneeflussodi H₂S: 2-3bar,0-0.4slm

2,4 fonte d'acqua

2.4.1 pressione di presa di acqua di raffreddamento: 2-3bar, l'acqua pura è raccomandato. La temperatura è 13-16°C. (clienti devono essere forniti di acqua raffreddata), lo scorrimento dell'acqua di raffreddamento, 5m3/h.

2.4.2 fonte d'acqua standby di emergenza (essere preparato dall'utente)

Pressione: 1.5bar-2bar.